Ya sea para recubrimiento giratorio u otro tipo de procesamiento de ventana con membrana, por medio de técnicas de deposición en vacío, la compra de membranas como arreglo multi-bastidor multi-frame array (MFA)], ofrece la comodidad del procesamiento de una cierta cantidad de membranas al mismo tiempo.
El tamaño del marco exterior es el mismo para todos los tamaños de membrana, o sea 23.5 x 23.5 mm, y se utilizan nuestras existencias de obleas de silicio estándar de 200 µm de espesor.
La capa de nitruro es siempre de nitruro de silicio de "baja tensión" (en contraposición al nitruro de silicio estequiométrico). Para la mayoría de los usuarios, la membrana de "baja tensión" es la opción deseada.
Podemos producir cualquier geometría que se desee, en tanto se pueda manejar dentro de las fronteras de un marco cuadrado de 23.5 mm. La mayoría de las aplicaciones requieren marcos cuadrados. Para usos en TEM, podemos producir marcos cuadrados de 2.65 mm con "esquinas sujetas hacia atrás" ("clipped back corners") de tal manera que la diagonal sea 3.05 mm, lo cual ajusta confortablemente en un sujetador TEM estándar de 3.05 mm. Debemos corregir un concepto erróneo que ha prevalecido, quizá en parte causado sin intención, por nuestro propio uso del término "esquinas sujetas hacia atrás". No estamos hablando de utilizar algún tipo de instrumento mecánico sujetador. Las esquinas son desbastadas hacia atrás químicamente, para producir el producto final deseado.
Las dimensiones dadas en seguida, corresponden a las unidades individuales o al tamaño externo del bastidor y no a las dimensiones completas del arreglo total. Por ejemplo, si uno quisiera ordenar el tamaño de bastidor externo de 3x3 mm, este correspondería a un arreglo de 6x6. Las dimensiones reales del arreglo son de18x18 mm. Cuando se añade el "anillo circundante" externo, las dimensiones globales para el bastidor externo serían de 23.5 x 23.5 mm. En virtud de que los costos están determinados primariamente por qué tantos arreglos podemos obtener de una sola oblea, a mayor tamaño global del arreglo, más alto el costo.
Este es el único producto MFA que recomendamos para aplicaciones TEM directas, o sea el tamaño de bastidor externo 2.65 x 2.65, el cual está designado como SPI #4134SN-AB. Los cuadrados 2.65 mm, con sus esquinas cortadas/sujetadas, se ajustarán confortablemente a cualquier sujetador estándar de rejillas TEM. 2.65 mm es la distancia de los cuadrados del arreglo, que se repite.
Recomendamos el recubridor giratorio modelo KW-4A por su facilidad de uso y precio asequible. No utilice vacío para detener el MFA (arreglo multi-bastidor) a la "mordaza" puesto que el vacío puede causar que la membrana se arquee hacia afuera y de esta forma se vea reducida su resistencia a la fractura. Que esta deformación conduzca a un recubrimiento disparejo. Algunos investigadores han desarrollado "mordazas" especiales que utilizan clips en lugar de vacío, lo cual implica otro beneficio del sustrato MFA.
El arreglo está hecho con las líneas de trazado en la parte de abajo y que por lo tanto no se ven desde arriba. Presione suavemente hacia abajo con pinzas, en el extremo de las líneas de trazo y verá usted que empieza a aparecer una línea conforme se dobla la oblea. Un poco más de presión y comienza a romperse. En este punto, debe voltearse el arreglo y efectuar el mismo procedimiento desde el otro lado. Una vez que una orilla se desprende, quite los otros extremos y separe las columnas de los bastidores individuales.
Podemos fabricar la membrana de los arreglos multibastidor en otros espesores, pero existen limitaciones en cuanto al espesor impuestas por el tamaño de ventana. Conforme el espesor de membrana cae abajo de los 100 nm., el costo sube dramáticamente.
Este enfoque es también muy útil a cualquiera que quiera un tamaño "especial" de ventana, pero que no tenga presupuesto para el valor de una producción de obleas completa. El costo por membrana utilizando el enfoque MFA es más alto, pero el pedido mínimo es significativamente más bajo que la producción a partir de una oblea completa. La oblea tendrá ¡un número de arreglos multibastidor diferentes!
