Apenas emitido en 2006, el MRS-5 es el último de la serie de estándares de aumento Geller SEM. Ha tomado las mejores características encontradas en los primeros estándares Geller, y se ha ampliado en ellos para crear lo que creemos que es por mucho el más útil y creíble de los estándares ofrecidos para el calibrado del aumento de un SEM.
El estándar de Referencia de Aumento MRS-5 Geller es el último de la serie de estándares Geller para el calibrado de todos los SEM. El MRS-4 presenta áreas de paso de 500 nm. El MRS-5 presenta áreas de paso de 80 nm. Con el crecimiento reciente de FESEM (microscopios electrónicos de barrido de emisión de campo) de alta resolución, ha habido una necesidad creciente de este nivel más elevado de herramienta de calibrado de aumento.
El MRS-5 es un dado de silicio de 2 mm x 2 mm, de 0.5 mm de espesor, con una delgada película de pasivación de SiO2 y sobre de ello, una película de tungsteno de 100 nm. El patrón es decapado en la película de tungsteno, deteniéndose en la capa de SiO2. El paso se describe como un ciclo, la distancia de una barra más un espacio (esto es, la distancia que se repite).
El Estándar de Referencia de Aumento Geller MRS-5 es rastreable hasta el National Physical Laboratory (NPL) en el Reino Unido. El NPL es la contraparte del NIST en los EU. Existe un acuerdo de reconocimiento mutuo entre NIST y NPL reconociendo las mediciones de cada uno.
Algunos estándares (competitivos) de alta resolución para aplicaciones SEM son rastreables mediante métodos de difracción óptica para determinar la frecuencia de patrón que no toman en cuenta variaciones de frecuencia en el patrón. Consideramos que éste es un método menos satisfactorio para la necesidad de mediciones. Para los estándares Geller, las mediciones se hacen correctamente, midiendo y suministrando rastreabilidad para el patrón individual.
Hasta donde podemos determinar, hasta aquí aunque lejos del MRS-5, sugieren que la incertidumbre de patrón de 100 nm es mejor a ±3.6 nm (1s).
